染谷薄膜素子研究室 CEMS

作製装置

写真:クリーンルーム Clean room

クリーンルーム

写真:イエロールーム Yellow room

イエロールーム

写真:スパッタ装置 Sputter

スパッタ装置

写真:真空蒸着装置 Vacuum evaporator

真空蒸着装置

写真:真空蒸着装置 Vacuum evaporator

真空蒸着装置

写真:搬送システム Transfer system

真空蒸着装置/グローブボックス連結システム

写真:グローブボックス Glovebox

グローブボックス

写真:ドラフトチャンバー humefood

ドラフトチャンバー

写真:高精細印刷装置 High-resolution printer

高精細印刷装置

写真:プラズマ装置 Plasma cleaner

プラズマ表面処理装置

写真:パリレン装置 Parylene Coater

高分子封止膜成膜装置

写真:レーザーマーカー Laser Marker

レーザーマーカー

写真:イナートオーブン Inert Oven

イナートオーブン

写真:スピンコーター Spin Coater

スピンコーター

評価装置

写真:半導体パラメータアナライザ Semiconductor parameter analyzer

半導体パラメータアナライザ

写真:ソーラーシミュレータ Solar simulator

ソーラーシミュレータ

写真:原子間力顕微鏡 Atomic Force Microscopy

原子間力顕微鏡

写真:光学顕微鏡 Optical microscope

光学顕微鏡

写真:接触角計 Contact angle measurement system

接触角計

写真:抵抗率測定装置 Resistivity measurement system

抵抗率測定装置

写真:紫外-可視/近赤外分光光度計 Spectrophotometers

紫外-可視/近赤外分光光度計

写真:環境試験器 Environmental tes chamber

環境試験器

写真:筋電図・誘発電位検査装置 Evoked potential/EMG measureing system

筋電図・誘発電位検査装置

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