クリーンルーム

イエロールーム

スパッタ装置

真空蒸着装置

真空蒸着装置

真空蒸着装置/グローブボックス連結システム

グローブボックス

ドラフトチャンバー

高精細印刷装置

プラズマ表面処理装置

アクアプラズマクリーナー

高分子封止膜成膜装置

レーザーマーカー

イナートオーブン

スピンコーター

半導体パラメータアナライザ

ソーラーシミュレータ

外部量子効率測定装置

原子間力顕微鏡

触診式膜厚プロファイラー

光学顕微鏡

接触角計

抵抗率測定装置

紫外-可視/近赤外分光光度計

環境試験器

筋電図・誘発電位検査装置